Manual Wet Station for 4/6/8 inch
特长:
1. 自定酸种/排列對應:
25枚Wafer洗净对应，可根据客户之使用酸种，对应开发与制造。
对应晶圆尺寸:4/6/8 inch Cassette type。
2. 安全/稳定设计:
可实现酸槽/水槽，机械手臂提拉导入。Process时间精准管控。
人员不直接触酸，提高安全性。
3. 高效率之设计:
MWB模块化之设计，与现有市面上手动酸洗槽，体积缩减20%之对应可能。
4. 结构安全之提高:
MWB模块化之设计，Double Sink导入，防止LEAK漏酸之可能。
5. 高质量之管理
处理槽内补酸管理、温度管理、混酸管理、程序管理…等，为国内高精度。
6. 生产成本之抑制:
废酸/水回收管理，降低生产成本。